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全自動(dòng)ICP刻蝕系統(tǒng)是一種先進(jìn)的半導(dǎo)體制造設(shè)備,廣泛應(yīng)用于微電子、光電器件及MEMS(微電機(jī)械系統(tǒng))等領(lǐng)域。ICP(感應(yīng)耦合等離子體)刻蝕技術(shù)以其高效率、高選擇性和良好的均勻性而受到青睞。ICP刻蝕是一種利用感應(yīng)耦合等離子體產(chǎn)生高密度等離子體,并通過(guò)對(duì)其進(jìn)行控制來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的去除過(guò)程。在該技術(shù)中,氟化氣體等化學(xué)試劑通過(guò)噴嘴進(jìn)入反應(yīng)室,與等離子體中的電子和離子發(fā)生碰撞,形成活性物種,在材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),進(jìn)而實(shí)現(xiàn)刻蝕。全自動(dòng)ICP刻蝕系統(tǒng)的部分組成:1.反應(yīng)室:用于進(jìn)行刻蝕反...
在現(xiàn)代科學(xué)研究和工業(yè)分析領(lǐng)域,對(duì)物質(zhì)的快速、準(zhǔn)確分析需求日益增長(zhǎng)。質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)飛行時(shí)間質(zhì)譜儀(ProtonTransferReactionTime-of-FlightMassSpectrometry,PTR-TOF-MS)作為一種先進(jìn)的分析儀器,以其高靈敏度、高分辨率、快速響應(yīng)等特點(diǎn),在環(huán)境監(jiān)測(cè)、食品安全、生命科學(xué)等眾多領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)飛行時(shí)間質(zhì)譜儀的特點(diǎn):1.高靈敏度PTR-TOF-MS具有非常高的靈敏度,可以檢測(cè)到極低濃度的VOCs。這是由于質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)的...
金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)是一種用于制造高質(zhì)量薄膜和納米結(jié)構(gòu)材料的重要技術(shù)。自其發(fā)展以來(lái),MOCVD在半導(dǎo)體、光電子以及儲(chǔ)能材料等領(lǐng)域展現(xiàn)了廣泛的應(yīng)用前景。金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)組成:1.氣源供應(yīng)系統(tǒng):提供金屬有機(jī)前驅(qū)體和反應(yīng)氣體。常見(jiàn)的金屬有機(jī)前驅(qū)體包括三甲基鎵(TMGa)、三乙基鎵(TEGa)、三甲基銦(TMIn)等。這些前驅(qū)體通常是液態(tài)或固態(tài),通過(guò)加熱和載氣(如氫氣或氮?dú)猓┮敕磻?yīng)室。2.反應(yīng)室:是MOCVD系統(tǒng)的核心部件,通常為高真空腔體。反應(yīng)室內(nèi)設(shè)有基片臺(tái),用于放置...
光學(xué)鍍膜系統(tǒng)是一種廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件制造過(guò)程中的關(guān)鍵設(shè)備,用于在光學(xué)元件表面沉積一層或多層薄膜,以改變光的傳播和反射性能。這種系統(tǒng)可以通過(guò)控制薄膜的厚度和結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)特定的光學(xué)效果,比如增強(qiáng)透射、抑制反射、增強(qiáng)反射等。在各種領(lǐng)域廣泛應(yīng)用,包括激光器、光學(xué)濾波器、太陽(yáng)能電池、眼鏡鏡片等。光學(xué)鍍膜系統(tǒng)的工作原理基于薄膜的干涉效應(yīng)。當(dāng)光線進(jìn)入被鍍膜的光學(xué)元件表面時(shí),會(huì)經(jīng)過(guò)多層沉積的薄膜,不同材料、不同厚度和不同折射率的層次會(huì)產(chǎn)生干涉效應(yīng),從而影響光的傳播和反射性能。通過(guò)合理設(shè)計(jì)薄膜的...
等離子去膠機(jī)是一種常用于去除材料表面膠層的設(shè)備,主要通過(guò)等離子技術(shù)將膠層分解和去除。利用等離子體的高能量特性,通過(guò)放電產(chǎn)生的等離子體將膠層分解成氣體和離子,從而實(shí)現(xiàn)去除膠層的目的。等離子體是一種高溫、高能量的電離氣體,具有強(qiáng)氧化性和分解性,能夠快速將膠層分解成氣體和離子,使其脫離材料表面。等離子去膠機(jī)的工作流程:1.調(diào)整參數(shù):根據(jù)材料表面膠層的性質(zhì)和要求,設(shè)置去膠機(jī)的工作參數(shù),如放電功率、氣體流量、處理時(shí)間等。2.放電處理:將待處理的材料放置在去膠機(jī)的處理室內(nèi),啟動(dòng)設(shè)備,通過(guò)...
熱真空環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備是一種用于模擬太空環(huán)境下的高溫、低溫和真空條件的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于航天器、衛(wèi)星、航空器等領(lǐng)域的研發(fā)和測(cè)試。其主要功能是在真空環(huán)境中對(duì)器件或零部件進(jìn)行熱載荷試驗(yàn),以驗(yàn)證其在特殊環(huán)境下的性能和可靠性。熱真空環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備的主要特點(diǎn)和工作原理:1.真空系統(tǒng):設(shè)備配備了高性能的真空泵和閥門系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)高度真空的環(huán)境。2.熱控系統(tǒng):設(shè)備具有精密的溫度控制系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)從-100℃至+150℃的溫度范圍內(nèi)的精確控制,以模擬太空環(huán)境中的高溫和低溫條件。3.載荷系統(tǒng):設(shè)...
熱真空環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備是一種用于模擬真空環(huán)境下高溫條件下材料或設(shè)備性能的測(cè)試設(shè)備。它通常由真空室、加熱系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、真空泵、控制系統(tǒng)等組成,可用于模擬航空航天、汽車、船舶、航空發(fā)動(dòng)機(jī)、核工程、電子元器件等領(lǐng)域的高溫真空環(huán)境,以評(píng)估材料和設(shè)備在特殊條件下的性能。熱真空環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備的主要特點(diǎn)包括:1.高溫真空環(huán)境模擬:設(shè)備能夠模擬高溫條件下的真空環(huán)境,通??梢赃_(dá)到數(shù)千攝氏度的高溫,以滿足不同材料和設(shè)備的測(cè)試需求。2.精密控制系統(tǒng):設(shè)備配備了精密的溫度控制系統(tǒng)和真空度控制系統(tǒng)...
熱真空試驗(yàn)箱是一種用于模擬高溫和真空環(huán)境的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、航空航天、電子制造等領(lǐng)域。能夠提供高溫和真空條件,以測(cè)試材料的熱穩(wěn)定性、氧化性能、電子特性等。工作原理是通過(guò)加熱系統(tǒng)將箱體內(nèi)部的溫度升高到所需的高溫狀態(tài),并通過(guò)真空泵將箱體內(nèi)部的空氣抽出,形成真空環(huán)境。在高溫和真空的條件下,材料的性能會(huì)發(fā)生變化,例如熔點(diǎn)降低、氧化速度加快等。通過(guò)觀察和測(cè)量這些變化,可以評(píng)估材料的穩(wěn)定性和可靠性。熱真空試驗(yàn)箱的主要組成部分包括箱體、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。箱體通常由不銹鋼...