微波等離子清洗機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng),用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來(lái)愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(zhǎng),受電場(chǎng)作用,微波等離子清洗機(jī)發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達(dá)到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿(mǎn)足刻蝕的需要。微波等離子清洗機(jī)利用等離子處理時(shí)會(huì)發(fā)出輝光,故稱(chēng)之為輝光放電處理。
微波等離子清洗機(jī)的等離子技術(shù)在橡塑行業(yè)的應(yīng)用已非常成熟,其相關(guān)產(chǎn)值逐年增加,國(guó)外市場(chǎng)比國(guó)內(nèi)市場(chǎng)產(chǎn)值高,但國(guó)內(nèi)可發(fā)展空間大,應(yīng)用前景誘人。
經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,人們的生活水平不斷提高,對(duì)消費(fèi)品的質(zhì)量要求也越來(lái)越高,等離子技術(shù)隨之逐步進(jìn)入生活消費(fèi)品生產(chǎn)行業(yè)中;另外,科技的不斷發(fā)展,各種技術(shù)問(wèn)題的不斷提出,新材料的不斷涌現(xiàn),越來(lái)越多的科研機(jī)構(gòu)已認(rèn)識(shí)到等離子技術(shù)的重要性,并投入大量資金進(jìn)行技術(shù)攻關(guān),等離子技術(shù)在其中發(fā)揮了非常大的作用。我們深信等離子技術(shù)應(yīng)用范圍會(huì)越來(lái)越廣;技術(shù)的成熟,成本的降低,其應(yīng)用會(huì)更加普及。
微波等離子清洗機(jī)的機(jī)理,主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來(lái)看,等離子體清洗通常包括以下過(guò)程:無(wú)機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。
微波等離子清洗機(jī)技術(shù)的zui大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類(lèi)型,均可進(jìn)行處理,對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。