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檢測系統(tǒng)
刻蝕系統(tǒng)
沉積系統(tǒng)
生長系統(tǒng)
清洗去膠系統(tǒng)
熱真空試驗系統(tǒng)
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Nano-Master公司研發(fā)的兆聲晶圓清洗/掩模板清洗機(jī)(SWC系列),近期在中國完成兩套設(shè)備的安裝。
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