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兆聲清洗機(jī)具備拋動(dòng)清洗功能,保證清洗均勻

更新時(shí)間:2022-08-22      瀏覽次數(shù):691
  兆聲清洗機(jī)是一款帶有小占地面積的理想設(shè)備,并且很容易安裝在空間有限的超凈間中。該系列設(shè)備都具有出眾的清洗能力,并可用于非常廣泛的基片。提供了可控的化學(xué)試劑滴膠能力,這使得顆粒從基片表面的去除能力得以進(jìn)一步加強(qiáng)。SWC和LSC具備對(duì)點(diǎn)試劑滴膠系統(tǒng),可以zui大程度節(jié)省化學(xué)試劑的用量的。滴膠系統(tǒng)支持可編程的化學(xué)試劑混合能力,提供了可控的化學(xué)試劑在整個(gè)基片上的分布。
  兆聲清洗機(jī)具有以下特點(diǎn):
  1、械手或多機(jī)械手組合,實(shí)現(xiàn)工位工藝要求。
  2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,操作便利。
  3、自動(dòng)上下料臺(tái),準(zhǔn)確上卸工件。
  4、凈化烘干槽,烘干前處理技術(shù),工作干燥無水漬。
  5、全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng),確保良好工作環(huán)境。
  6、具備拋動(dòng)清洗功能,保證清洗均勻。
  7、全封閉清洗均勻。
  8、全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng),確保良好工作環(huán)境。
  兆聲清洗機(jī)不僅保留了超聲波清洗的優(yōu)點(diǎn),而且克服了超聲波清洗的缺點(diǎn)。兆聲無損清洗機(jī)的工作原理是利用高能(850kHz)頻率效應(yīng)和化學(xué)清洗劑的化學(xué)反應(yīng)對(duì)硅片進(jìn)行清洗。在清洗過程中,換能器發(fā)出的高能聲波波長(zhǎng)為1m,頻率為0.8MHZ。在聲波的驅(qū)動(dòng)下,溶液的分子運(yùn)動(dòng)得更快。瞬時(shí)速度可達(dá)30cm/s。因此,無法形成超聲清洗等氣泡。相反,只能用高速的流體波不斷地沖擊晶圓片表面,迫使附著在晶圓片表面的微小污染物顆粒被去除并進(jìn)入清洗溶液中。
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