兆聲清洗機不僅保留了超聲波清洗的優(yōu)點，而且克服了超聲波清洗的缺點。兆聲無損清洗機的工作原理是利用高能（850kHz）頻率效應(yīng)和化學(xué)清洗劑的化學(xué)反應(yīng)對硅片進(jìn)行清洗。在清洗過程中，換能器發(fā)出的高能聲波波長為1 m，頻率為0.8 MHZ。在聲波的驅(qū)動下，溶液的分子運動得更快。瞬時速度可達(dá)30cm/s。因此，無法形成超聲清洗等氣泡。相反，兆聲清洗機只能用高速的流體波不斷地沖擊晶圓片表面，迫使附著在晶圓片表面的微小污染物顆粒被去除并進(jìn)入清洗溶液中。
經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，人們的生活水平不斷提高，對消費品的質(zhì)量要求也越來越高，等離子技術(shù)隨之逐步進(jìn)入生活消費品生產(chǎn)行業(yè)中；另外，科技的不斷發(fā)展，各種技術(shù)問題的不斷提出，新材料的不斷涌現(xiàn)，越來越多的科研機構(gòu)已認(rèn)識到等離子技術(shù)的重要性，兆聲清洗機并投入大量資金進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)，等離子技術(shù)在其中發(fā)揮了非常大的作用。我們深信等離子技術(shù)應(yīng)用范圍會越來越廣；技術(shù)的成熟，成本的降低，其應(yīng)用會更加普及。
兆聲清洗機的機理，主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機理來看，等離子體清洗通常包括以下過程：無機氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應(yīng)殘余物脫離表面。
主要功能部件有：箱體部分、骨架、酸泡槽、DI水清洗槽、超聲/兆聲槽、石英管滾動系統(tǒng)、噴淋系統(tǒng)、機械手部分、貯藏柜、排風(fēng)裝置、給（排）水管路、抽風(fēng)系統(tǒng)和電氣控制系統(tǒng)等。采用全自動控制式，通過觸摸屏設(shè)定參數(shù)來選擇清洗工藝，操作便捷。
兆聲清洗機技術(shù)特點
1、可根據(jù)用戶工藝要求配置。
2、清洗槽高加熱溫度可達(dá)200℃。
3、快速排放沖洗槽排放，沖洗次數(shù)可設(shè)置。
4、槽體結(jié)構(gòu)可選單片盒，或雙片盒結(jié)構(gòu)。
5、槽內(nèi)傳輸有手動、自動方式可選。
6、可選配超聲清洗，或兆聲清洗功能。
7、可選配液體循環(huán)系統(tǒng)。
8、具有故障提示，報警等功能
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更新時間：2019-11-13 
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